用于在微电子制造期间涂覆基板外边缘的设备
专利权的终止
摘要
提供了新型挡板以及使用这些挡板的方法。该挡板包括具有边壁的板身，该边壁被构造成将成分的流动导向基板(例如，硅晶片)边缘。边壁包括垂直表面(38)、与垂直表面相耦合的弯曲侧壁(42)以及与弯曲侧壁相耦合的唇边(40)。一种优选的挡板是环形的并由合成树脂成分构成。更为优选地，该挡板不由金属构成。本发明的方法包括在旋涂过程期间靠近基板定位上述挡板，由此边壁就引起该成分覆盖基板边缘并优选地覆盖该基板背侧的一部分。
基本信息
专利标题 ：
用于在微电子制造期间涂覆基板外边缘的设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101056714A
申请号 ：
CN200580038021.1
公开（公告）日 ：
2007-10-17
申请日 ：
2005-11-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
G·J·布兰德P·H·艾伦R·K·特里舒尔
申请人 ：
布鲁尔科技公司
申请人地址 ：
美国密苏里州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
项丹
优先权 ：
CN200580038021.1
主分类号 ：
B05C11/02
IPC分类号 ：
B05C11/02 B05B1/28
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C11/00
在B05C1/00至B05C9/00中没有专门列入的部件、零件及附件
B05C11/02
向已经涂布过的表面涂敷或分布液体或其他流体的装置；涂层厚度的控制
法律状态
2021-10-19 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B05C 11/02
申请日 : 20051107
授权公告日 : 20091021
终止日期 : 20201107
申请日 : 20051107
授权公告日 : 20091021
终止日期 : 20201107
2017-11-24 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B05C 11/02
登记生效日 : 20171106
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 布鲁尔科技公司
变更后权利人 : 高惠设备有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国密苏里州
变更后权利人 : 美国密苏里州
登记生效日 : 20171106
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 布鲁尔科技公司
变更后权利人 : 高惠设备有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国密苏里州
变更后权利人 : 美国密苏里州
2009-10-21 ：
授权
2007-12-19 ：
实质审查的生效
2007-10-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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