提供适于被分割体的分割的起点形成方法，通过用激光照射被分割体的方式进行。用能量尚未达到以烧蚀作用形成刻划槽程度的激光，在其焦点从被分割体M的上表面向其内部散焦20μm～30μm的状态下，向被分割体M的所要分割部位进行照射。用吸收导致的急速加热和之后的急速冷却，形成具有细长剖面形状的变质区域T。切割处理能够实现该变质区域T的最下端部成为起点的良好切割。而且，若将在所使用激光的波长范围内激光吸收率比被分割体M更高的物质，预先赋予给所要分割的部位，则由于只有该部位的激光吸收率被提高，所以即使用本来不会产生吸收现象的弱脉冲能量的激光进行照射，也能够可靠地形成成为分割起点的变质区域。