接触单元以及检查系统

专利权的终止

摘要

本发明提供一种具有简易的构成，而且在与检查对象之间可进行正确定位的接触单元。在接触单元(2)所具备的支撑基板(15)的上面，对应于作为检查对象的电路形成区域(5a)所具备的测试垫(11)的配置形态，配置有接触探针(13)的同时，对应于虚设垫(7a)至(7d)，配置有检测探针组(14a)至(14d)。检测探针组(14)是由探针(19、20)所构成，而分别连接于构成位置关系检测部(22)的发光二极管(12)及电压源(21)。以接触单元(2)实施检查时，经由探针(19、20)与所对应的虚设垫(7)接触而互为导通时，发光二极管会发光，因此借助确认发光二极管(12)的发光状态，即可判定是否正确进行定位。

基本信息

专利标题：

接触单元以及检查系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101317099A

申请号：

CN200580052033.X

公开（公告）日：

2008-12-03

申请日：

2005-11-10

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

石川重树仁平崇

申请人：

日本发条株式会社

申请人地址：

日本国神奈川县

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

汪惠民

优先权：

CN200580052033.X

主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R31/28 G01R31/26