检查单元以及检查系统

授权

摘要

本实用新型提供了一种检查单元以及检查系统，该检查单元包括：连接体，所述连接体上设置有开孔；且所述连接体用于与自动测试设备相连，其中，所述自动测试设备用于对晶圆进行检测；光源，所述光源设置于所述开孔内；探针卡；所述探针卡与所述连接体相连，所述探针卡上设置有用于供光线穿过的透射部；探针台，所述探针台上设置有用于容置晶圆的容置部，所述容置部在所述光线的传播方向上位于所述透射部的下游；配线板，所述配线板与所述弹簧针座相对设置，所述配线板背对所述弹簧针座的一侧用于与所述自动测试设备相连。本实用新型提供了一种能对需要使用光源的晶圆进行测试的检查单元以及检查系统。

基本信息

专利标题：

检查单元以及检查系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920878815.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-12

授权号：

CN210427645U

授权日：

2020-04-28

发明人：

库知文

申请人：

上海思立微电子科技有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区盛夏路560号2幢1003室

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

陈伟

优先权：

CN201920878815.8

主分类号：

G01R1/067

IPC分类号：

G01R1/067