本发明提供一种包括高效电荷泵的内部电压发生器。该内部电压发生器包括：振荡信号发生器，用于接收基准电压和泵浦电压，以由此输出振荡信号；泵控制逻辑，用于响应于振荡信号来输出泵浦控制信号和预充电信号；以及电荷泵，用于响应于预充电信号，通过连接所述自举节点对，对所述自举节点对进行预充电，以由此在响应于预充电信号、将所述自举节点对预充电到电源电压电平以及对所述自举节点对和泵浦电压进行电荷共享之后，产生预定电平的泵浦电压。在此，所述泵浦控制信号控制泵浦操作并且所述预充电信号对自举节点对进行预充电，以便于通过泵浦电源电压来产生泵浦电压。