用于可靠性测试的方法和装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明公开了一种用于对被测器件进行可靠性测试的方法和使用该方法的装置，所述方法包含以下步骤：第一步骤，在将第一电压施加到被测器件达预定时间之后施加第二电压，并测量流经该被测器件的电流；第二步骤，对同一被测器件接连进行两次或更多次第一步骤；第三步骤，对多个被测器件接连进行第二步骤；第四步骤，对同一被测器件进行一次或接连进行两次或更多次第一步骤；第五步骤，在进行第三步骤之后，接连对多个被测器件进行第四步骤；以及第六步骤，对每个被测器件得到施加第一电压的总时间与电流之间的关系。
基本信息
专利标题 ：
用于可靠性测试的方法和装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1834674A
申请号 ：
CN200610008001.6
公开（公告）日 ：
2006-09-20
申请日 ：
2006-02-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
竹内恭彦滩仁志
申请人 ：
安捷伦科技有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王怡
优先权 ：
CN200610008001.6
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26 G01R31/00 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2008-12-03 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-09-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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