涂敷基底的系统及插入元件

专利权的终止

摘要

一用来涂敷一基底(3)、尤其是一透明的基底的系统(1)，该系统包括至少一个涂敷腔室(2)、至少一个用来在涂敷腔室(2)内产生一真空的泵装置(5)，以及至少一个喷溅阴极(9)。一个或多个阴极(9)连同经历处理诱发的脏物的系统部件一起集成在一插入元件内，系统部件例如有屏蔽、盖，或用来传输基底(3)通过涂敷腔室(2)的运输滚轮(6)。插入元件(8)可以像一抽屉那样滑动通过腔室壁(2a)内的一侧向开口(10)进入到腔室内部。为了维护的目的，需要彻底维护和清洁的涂敷系统(1)的任何部件，可借助于插入元件(8)容易地从涂敷腔室(2)的内部移出。通过插入一刚开始服役的插入元件，被移出的插入元件(8)就可被直接更换。

基本信息

专利标题：

涂敷基底的系统及插入元件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1827545A

申请号：

CN200610009317.7

公开（公告）日：

2006-09-06

申请日：

2006-02-23

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

M·舒马赫G·约斯

申请人：

应用薄膜两合股份有限公司

申请人地址：

德国阿尔策瑙

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

马洪

优先权：

CN200610009317.7

主分类号：

C03C17/00

IPC分类号：

C03C17/00