一种在树脂镜片上沉积碳膜的方法
专利权的终止
摘要
一种在树脂镜片上沉积碳膜的方法,采用等离子体化学气相沉积方法在树脂镜片上沉积碳膜,利用高频电场所提供的高能量等离子体与通入的烃类气体产生裂解及淀积反应,在镜片表面形成碳膜,工艺过程为:用超声波清洗机对树脂基片进行清洗;再进行等离子清洗工艺,以Ar离子对基片清洗5min;通烃类碳源气体和氢气,进行碳膜的沉积,射频能量取值15~400W;烃类碳源气体、H2气体浓度比为1∶(0~3),沉积时真空度10~50Pa;沉积时间为10s~30min。所制备的碳膜均匀、致密,没有大颗粒的附着,没有开裂的现象,膜基结合良好,镜片表面硬度及抗划擦性能显著增强。
基本信息
专利标题 :
一种在树脂镜片上沉积碳膜的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1804665A
申请号 :
CN200610045736.6
公开(公告)日 :
2006-07-19
申请日 :
2006-01-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
蔺增彭勃巴德纯
申请人 :
东北大学
申请人地址 :
110004辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
代理机构 :
沈阳东大专利代理有限公司
代理人 :
李运萍
优先权 :
CN200610045736.6
主分类号 :
G02B1/10
IPC分类号 :
G02B1/10 C23C16/513 C23C16/52 C23C16/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B1/00
按制造材料区分的光学元件;用于光学元件的光学涂层
G02B1/10
对光学元件表面涂覆或对它进行表面处理后所产生的光学涂层
法律状态
2015-03-25 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101602182734
IPC(主分类) : G02B 1/10
专利号 : ZL2006100457366
申请日 : 20060124
授权公告日 : 20080220
终止日期 : 20140124
号牌文件序号 : 101602182734
IPC(主分类) : G02B 1/10
专利号 : ZL2006100457366
申请日 : 20060124
授权公告日 : 20080220
终止日期 : 20140124
2009-12-30 :
专利实施许可合同的备案
合同备案号 : 2009210000178
让与人 : 东北大学
受让人 : 凯米光学(嘉兴)有限公司
发明名称 : 一种在树脂镜片上沉积碳膜的方法
申请日 : 20060124
授权公告日 : 20080220
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 2009.7.15
合同履行期限 : 2008.4.1至2013.8.31合同变更
让与人 : 东北大学
受让人 : 凯米光学(嘉兴)有限公司
发明名称 : 一种在树脂镜片上沉积碳膜的方法
申请日 : 20060124
授权公告日 : 20080220
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 2009.7.15
合同履行期限 : 2008.4.1至2013.8.31合同变更
2008-02-20 :
授权
2006-09-13 :
实质审查的生效
2006-07-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载