用于管理半导体特性评估装置的方法和其计算机程序
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明公开了一种由控制单元、存储器单元和输入/输出单元组成的半导体特性评估装置中的数据管理方法，包括选择包括用于测试多个晶片类型的测试程序在内的工作空间的步骤；将所选的工作空间中的测试结果存储为历史的步骤；以及从存储的测试结果的历史中搜索所需的测试结果的步骤。
基本信息
专利标题 ：
用于管理半导体特性评估装置的方法和其计算机程序
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1825131A
申请号 ：
CN200610057676.X
公开（公告）日 ：
2006-08-30
申请日 ：
2006-02-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
石塚好司
申请人 ：
安捷伦科技有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王怡
优先权 ：
CN200610057676.X
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26 G01R31/00 G01R31/319 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2008-12-03 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-08-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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