一种柔性带状物表面金属镀膜设备
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种柔性带状物表面金属镀膜设备。被镀物由放卷轴出发,经由导向轴,再由牵引轴,然后再经由过渡轴卷绕在收料轴上,在这个卷放过程当中,被镀物经过靶极的溅射区,由两组靶极同时对被镀物的两面进行溅射镀膜,一次性完成对被镀物的双面金属化涂层的镀制。该专用设备,包括真空室及与真空室相连接的真空系统,真空室上设有靶极移动门和传动移动门,靶极移动门上安装有磁控溅射靶极,传动移动门上安装有被镀物的卷绕机构。本实用新型生产效率高,成本低,适合于工业化生产;由于两组靶极采用固定与旋转靶极组合使用,所以镀制的膜层均匀,且镀透性良好。
基本信息
专利标题 :
一种柔性带状物表面金属镀膜设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620085537.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-06-14
授权号 :
CN200958114Y
授权日 :
2007-10-10
发明人 :
毕研文王乃用宋小斌张强江衍勤
申请人 :
菏泽天宇科技开发有限责任公司
申请人地址 :
274000山东省菏泽市黄河东路861号
代理机构 :
济南泉城专利商标事务所
代理人 :
张贵宾
优先权 :
CN200620085537.3
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2015-08-12 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101620062842
IPC(主分类) : C23C 14/35
专利号 : ZL2006200855373
申请日 : 20060614
授权公告日 : 20071010
终止日期 : 20140614
号牌文件序号 : 101620062842
IPC(主分类) : C23C 14/35
专利号 : ZL2006200855373
申请日 : 20060614
授权公告日 : 20071010
终止日期 : 20140614
2007-10-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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