一种表面金属镀膜设备用靶极系统
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种靶极系统,特别公开了一种表面金属镀膜设备用靶极系统。该表面金属镀膜设备用靶极系统,包括固定轴、与固定轴连接的导磁芯轴,固定轴外为密封室、固定架,固定架的一侧固定有靶极门及防护罩,其特殊之处在于:所述固定轴上固定有传动链轮,传动链轮依次连接转动轴、靶极连接法兰、靶材连接法兰及靶材。本实用新型由于靶材产生旋转,表面均匀溅射,利用率由原来的10%提高到60%以上。组成了一整套可旋转的真空镀膜靶极,不仅提高了靶材利用率,而且提高了设备效率,延长了设备维护周期,降低了镀膜成本。

基本信息
专利标题 :
一种表面金属镀膜设备用靶极系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620085536.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-06-14
授权号 :
CN2923740Y
授权日 :
2007-07-18
发明人 :
毕研文王乃用宋小斌张强江衍勤
申请人 :
菏泽天宇科技开发有限责任公司
申请人地址 :
274000山东省菏泽市黄河东路861号
代理机构 :
济南泉城专利商标事务所
代理人 :
张贵宾
优先权 :
CN200620085536.9
主分类号 :
C23C14/34
IPC分类号 :
C23C14/34  C23C14/14  C23C14/54  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2015-08-12 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101620047790
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2006200855369
申请日 : 20060614
授权公告日 : 20070718
终止日期 : 20140614
2007-07-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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