一种轮辋表面磁控溅射镀膜设备
授权
摘要

本实用新型公开了一种轮辋表面磁控溅射镀膜设备,包括真空箱,所述真空箱内设有镀膜槽,所述镀膜槽内设有磁控靶,所述真空箱内腔下端固定安装有基板,所述基板上固定安装有第一伺服电机,所述第一伺服电机输出端通过联轴器连接有安装座,所述真空箱内腔一侧固定安装有移动机构,所述移动机构固定连接有调节挡板,本轮辋表面磁控溅射镀膜设备保证膜厚均匀性的同时提高了设备的生产周期,且便于调节旋转,本轮辋表面磁控溅射镀膜设备真空箱内设有镀膜槽,镀膜槽内的磁控靶向轮辋进行溅射预定膜材,移动机构可带动调节挡板进行移动,可调节镀膜厚度,第一伺服电机可通过安装座带动轮辋进行旋转,使镀膜更加均匀。

基本信息
专利标题 :
一种轮辋表面磁控溅射镀膜设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122788510.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-15
授权号 :
CN216237254U
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
方胜良楼昌荣胡劲松
申请人 :
杭州金成车轮制造有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市临安区青山湖街道王家山路5号
代理机构 :
广东奥益专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张芳
优先权 :
CN202122788510.8
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35  C23C14/04  C23C14/54  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2022-04-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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