内腔式连续磁控溅射镀膜设备
授权
摘要

本实用新型提供一种内腔式连续磁控溅射镀膜设备,包括中空腔室以及传动结构,所述传动结构能够带动镀膜管从中空腔室的一端进入并由另一端穿出;而所述中空腔室由进管室、连续镀膜室以及出管室依次连通组成,在进管室的两端以及在出管室的两端分别设有真空密封阀,使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别密封;在进管室、连续镀膜室以及出管室上分别设有抽气口,使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别抽真空;所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材,所述靶材通过电源线连接至外部电源,在连续镀膜室上设有贯通内外的布气管。本实用新型可提高靶材利用率,提高镀膜速度以及镀膜质量。

基本信息
专利标题 :
内腔式连续磁控溅射镀膜设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920885884.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-12
授权号 :
CN211142150U
授权日 :
2020-07-31
发明人 :
韩成明薛道荣李峰褚敬堂刘子毓
申请人 :
河北道荣新能源科技有限公司
申请人地址 :
河北省邢台市威县经济开发区跨越路以东、信德路以北
代理机构 :
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
代理人 :
李林
优先权 :
CN201920885884.1
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35  C23C14/56  C23C14/16  C23C14/06  C23C14/08  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2020-07-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN211142150U.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332