薄膜材料电/热/力耦合作用下性能测试系统
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本实用新型涉及对具有微/纳米尺度的薄膜材料、集成电路用金属化互连体薄膜及导线在电/热/力耦合作用下进行可靠性能原位测试与评价的系统。该系统提供了可原位加工各种形状的微/纳米尺度薄膜材料，利用交、直流电测试材料在电/力/热耦合作用下力学性能和物理性能、以及进行原位的实时三维表征等功能。本实用新型样品加电部分的电源通过由信号发生器指挥的功率放大器与样品相连，与样品连接部分的金属探针被固定在微动机械手上，微动机械手与功率放大器相连，测试与分析部分包括示波器以及与示波器相连的计算机，微动机械手与示波器相连。本实用新型搭建的系统集原位微加工、性能测试及表征于一体，测试材料的力学性能以及电迁移等物理性能。
基本信息
专利标题 ：
薄膜材料电/热/力耦合作用下性能测试系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620168832.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-12-31
授权号 ：
CN201034898Y
授权日 ：
2008-03-12
发明人 ：
张广平张滨于庆源
申请人 ：
中国科学院金属研究所
申请人地址 ：
110016辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
代理机构 ：
沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 ：
张志伟
优先权 ：
CN200620168832.5
主分类号 ：
G01N3/60
IPC分类号 ：
G01N3/60 G01N33/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N3/54
••在高温或低温下进行试验
G01N3/60
测试材料，例如耐火材料耐急剧热变化的性能
法律状态
2010-03-17 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2008-03-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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