检查系统和设备

专利权的终止

摘要

一种用于识别样本表面上的缺陷或污染的方法和系统。该系统通过经由vCPD和nvCPD检测表面上功函数的改变而工作。它利用非接触电位差(nvCPD)传感器对整个样本上的功函数变化成像。数据是微分数据，因为它代表样本表面上的功函数(或几何形态或表面电压)的改变。vCPD探头被用来确定样本表面上的特定点的绝对CPD数据。振动和非振动CPD测量模式的结合实现对整个样本均匀性的快速成像以及检测在一点或多点上的绝对功函数的能力。

基本信息

专利标题：

检查系统和设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101069092A

申请号：

CN200680001263.8

公开（公告）日：

2007-11-07

申请日：

2006-03-06

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

M·布兰登·斯蒂勒杰弗里·A·豪索恩

申请人：

Q概念技术公司

申请人地址：

美国佐治亚

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

李春晖

优先权：

CN200680001263.8

主分类号：

G01N27/00

IPC分类号：

G01N27/00

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01N

借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料

G01N27/00

用电、电化学或磁的方法测试或分析材料

法律状态

2018-03-23 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01N 27/00
申请日 : 20060306
授权公告日 : 20110427
终止日期 : 20170306

2016-09-14 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101738937768
IPC(主分类) : G01N 27/00
专利号 : ZL2006800012638
登记生效日 : 20160825
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : Q概念技术公司
变更后权利人 : Q概念投资有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国佐治亚
变更后权利人 : 美国佐治亚州亚特兰大328座第五街西北75号莫斯利公司

2011-04-27 ：

授权

2008-01-02 ：

实质审查的生效

2007-11-07 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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