图像曝光装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要

一种图像曝光装置,在装置中感光材料由空间光调制器调制的光曝光,其能获得高的光利用效率和消光比。在图像曝光装置中,包括具有多个反射像素部的两维设置的空间光调制器(50),如DMD,每一个像素部调制照射在其上的光;将光(B)照射到空间光调制器(50)上的光源(66);以及将由经由空间光调制器(50)透射的光(B)所代表的图像聚焦到感光材料(150)上,每一个像素部(例如,DMD的微镜)制成类似凹面镜或凸面镜的形状,会聚用于图像曝光的光(B)。

基本信息
专利标题 :
图像曝光装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101120285A
申请号 :
CN200680004549.1
公开(公告)日 :
2008-02-06
申请日 :
2006-02-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
石井秀一木村宏一角克人石川弘美大森利彦
申请人 :
富士胶片株式会社
申请人地址 :
日本国东京都
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
张成新
优先权 :
CN200680004549.1
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  G02B26/08  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2008-10-22 :
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-02-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN101120285A.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332