一种用于太阳能电池片磷硅玻璃周边刻蚀的刻蚀机载片盘的旋转机构，有上端口装有石英筒的室体，石英筒外周有激励线圈和屏蔽罩，石英筒中有硅片夹具，室体中有空心中轴，中轴与室体底部的轴孔之间装有轴承，中轴下端口同室体下方的抽气接头连通而其上端口有绝缘垫块，硅片夹具的底座装在绝缘垫块上，中轴位于室体中的轴管壁上开有至少三个抽气孔，在室体上端口有密布小气孔的抽气隔板；装在中轴上的从动齿轮同主动齿轮啮合而主动齿轮安装在位于室体中的磁流体密封件上端，磁流体密封件下端装有从动带轮，装在电动机主轴上的主动带轮经皮带同从动带轮连接。它可在不影响腔体中央抽气而保持气氛径向均匀性的前提下旋转硅片夹具，从而使得刻蚀更均匀。