本实用新型公开了一种半导体检测设备的进样器，涉及半导体检测领域的装置。该进样器包括进样管及套接于进样管的进样口上的选择性过滤接头。进一步地，该选择性过滤接头包括筒状本体、安装于筒状本体上部的密封接头以及可拆卸地安装于筒状本体底面选择性半透膜。与现有技术相比，本实用新型进样器通过在进样管的进样口处设置具有选择过滤性功能的选择性过滤接头，将检测样品中不需要检测或者影响检测结果的杂质从源头上进行阻止，提高了检测设备的灵敏度；对大分子有机物或者高浓度无机物，可以避免对进样管的阻塞，增加了其使用寿命，降低了检测成本。