本实用新型公开了一种湿法浸入式设备的药液处理槽，包括处理槽、聚氯乙烯外槽和循环外槽，处理槽通过支架支撑于聚氯乙烯外槽内，处理槽与聚氯乙烯外槽之间设置有循环外槽，处理槽内的底部设置有硅片支架，其中处理槽盛装有药液，聚氯乙烯外槽内盛有纯水，循环外槽内盛有药液；其中：所述处理槽的沿硅片排列方向的截面的底面形状为圆弧形。本实用新型将原有的矩形处理槽改进为底面为圆弧形的处理槽，能够在不影响硅片处理的情况下，最大限度地减小处理槽内药液的体积，从而节省药液的用量，降低生产成本；同时去除了容易产生结晶物的死角，从而避免在处理槽底部角落内产生结晶物，使结晶物不容易生成，改善工艺品质。