一种太阳能集热管镀膜生产线
专利权的终止
摘要
一种太阳能集热管镀膜生产线属于太阳能集热管镀膜生产装置结构的改进。本实用新型就是提供一种生产效率高,镀膜质量好的太阳能集热管镀膜生产线。本实用新型包括外环轨,其结构要点是外环轨上依次设置有进管室、镀膜室、出管室,进管室、镀膜室、出管室的入口处、出口处分别设置有门阀、轨道岔口;进管室、镀膜室、出管室分别同真空装置相连;外环轨和进管室、镀膜室、出管室内的内环轨上设置有工件架链,工件架链是由既可绕外环轨、内环轨运转,又可自转的工件架连接组成,内环轨内设置有磁控靶;外环轨侧方的拨叉设置在两个链轮之间的链条上;相应于拨叉的工件架链上设置有拨块。
基本信息
专利标题 :
一种太阳能集热管镀膜生产线
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820011373.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-02-29
授权号 :
CN201176455Y
授权日 :
2009-01-07
发明人 :
王光华郭保安
申请人 :
沈阳百乐真空技术有限公司
申请人地址 :
110135辽宁省沈阳市沈北新区道义北大街道义三西路
代理机构 :
沈阳亚泰专利商标代理有限公司
代理人 :
史旭泰
优先权 :
CN200820011373.9
主分类号 :
C23C14/56
IPC分类号 :
C23C14/56 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
法律状态
2016-04-13 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101655931568
IPC(主分类) : C23C 14/56
专利号 : ZL2008200113739
申请日 : 20080229
授权公告日 : 20090107
终止日期 : 20150229
号牌文件序号 : 101655931568
IPC(主分类) : C23C 14/56
专利号 : ZL2008200113739
申请日 : 20080229
授权公告日 : 20090107
终止日期 : 20150229
2009-01-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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