等离子显示屏保护膜耐溅射性的测试装置
专利权的终止
摘要
本实用新型的等离子显示屏保护膜耐溅射性的测试装置，其特征是在镀有一定厚度的保护膜(2)的玻璃基片(1)上覆盖具有特定形状的金属掩膜(4)，将玻璃基片(1)放入射频溅射镀膜机(3)中的靶(6)位置上以高频溅射一定时间后，测量被金属掩膜(4)遮挡的区域和未遮挡区域的保护膜(2)厚度差，可以计算出溅射速率，从而得出保护膜耐溅射性评估方法。本实用新型可以高效、准确的测试等离子显示屏保护膜的耐溅射性能，并且测试原理与等离子屏的工作原理较近似，结果可信度高。
基本信息
专利标题 ：
等离子显示屏保护膜耐溅射性的测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820038602.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-08-14
授权号 ：
CN201247233Y
授权日 ：
2009-05-27
发明人 ：
孙青云朱立锋王保平林青园李霞
申请人 ：
南京华显高科有限公司
申请人地址 ：
210061江苏省南京市高新开发区商务办公楼413室
代理机构 ：
南京天华专利代理有限责任公司
代理人 ：
夏 平
优先权 ：
CN200820038602.6
主分类号 ：
G01N33/00
IPC分类号 ：
G01N33/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N33/00
利用不包括在G01N1/00至G01N31/00组中的特殊方法来研究或分析材料
法律状态
2013-10-02 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101526130068
IPC(主分类) : G01N 33/00
专利号 : ZL2008200386026
申请日 : 20080814
授权公告日 : 20090527
终止日期 : 20120814
号牌文件序号 : 101526130068
IPC(主分类) : G01N 33/00
专利号 : ZL2008200386026
申请日 : 20080814
授权公告日 : 20090527
终止日期 : 20120814
2009-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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