本实用新型涉及一种硅片甩干机，属晶体硅制备装置技术领域。其结构中包括，腔体，腔体内设置旋转体，旋转体上承载硅片架，腔体顶部设置包括空气过滤装置的顶盖，空气过滤装置由过滤介质、隔板和框架组成，其特征在于：在甩干机顶盖上设置有连通空气过滤装置的氮气进气口。通过加装氮气进气装置，使设备具有强制干燥功能，片子在甩干的同时，附加氮气干燥作用，可彻底去除表面的水气，解决表面形成时间依敕性雾的问题，同时空气过滤装置又保证了硅片表面的颗粒不超标，本新型结构在不改变原有结构前提下进行改进，结构简单，性能可靠。