一种新型离心式硅片甩干机
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摘要

一种新型离心式硅片甩干机,包括甩干桶、桶盖、电机、皮带轮以及转轴,桶盖罩盖在甩干桶上,电机的输出轴与皮带轮连接,皮带轮与转轴一端连接,转轴另一端穿过甩干桶底部后与设置在甩干桶内部的硅片承载装置固接,所述桶盖的中心开设有贯通的空气入口,在空气入口内安装有空气过滤网,所述甩干桶的侧壁开设有空气导流口,该空气导流口与空气导流管连通。本实用新型在桶盖上开设空气入口,并在空气入口处设置空气过滤网,在甩干桶内部硅片及硅片承载装置高速旋转的离心力作用下形成自上而下高速气流,从而将硅片上的水汽由空气导流口排出甩干桶,可以在杜绝空气污染和减少能耗的情况下,实现硅片的甩干脱水,并且成本低廉,甩干脱水效果好。

基本信息
专利标题 :
一种新型离心式硅片甩干机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921783403.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-21
授权号 :
CN210892394U
授权日 :
2020-06-30
发明人 :
裴保齐
申请人 :
洛阳鸿泰半导体有限公司
申请人地址 :
河南省洛阳市高新区滨河北路22#留学人员创业园鸿泰半导体有限公司
代理机构 :
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 :
贾双明
优先权 :
CN201921783403.2
主分类号 :
F26B5/08
IPC分类号 :
F26B5/08  F26B21/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B5/00
不需要使用加热方法干燥固体材料或制品
F26B5/08
用离心处理
法律状态
2020-06-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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