一种硅片刷洗甩干工作台装置
授权
摘要
本实用新型属于半导体加工领域，具体涉及一种硅片刷洗甩干工作台装置。包括工作台，工作台上设有三个工位，每个工位均包括旋转甩干组件、刷洗组件和喷水组件。本实用新型可以同时实现硅片的刷洗及甩干工序，三个工位同时工作，工作效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片刷洗甩干工作台装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920929142.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-20
授权号 ：
CN210333494U
授权日 ：
2020-04-17
发明人 ：
朱亮曹建伟卢嘉彬刘小琴周锋郑猛张正良刘文涛高红刚
申请人 ：
浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
代理机构 ：
杭州中成专利事务所有限公司
代理人 ：
周世骏
优先权 ：
CN201920929142.4
主分类号 ：
B08B1/04
IPC分类号 ：
B08B1/04 B08B1/00 B08B3/02 B08B13/00 F26B5/08
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
B08B1/04
利用旋转动作的构件
法律状态
2020-04-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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