一种超薄硅片加工工作台
授权
摘要
本实用新型公开了一种超薄硅片加工工作台,包括支撑板、抽气泵、固定板和驱动电机,所述支撑板的底部四角对称焊接固定有四组支撑腿,所述支撑板的底部焊接固定有安装架,所述安装架的底部通过螺栓固定有抽气泵,所述安装架内通过转动座转动连接有固定管,所述固定管的上半部延伸至支撑板的上方,所述固定管的表面焊接固定有固定板,所述支撑板表面的右半部通过螺栓固定有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的驱动杆上通过螺栓固定有安装板,所述安装板的表面通过螺栓固定有驱动电机,所述支撑板的背部通过螺栓固定有连接板。该超薄硅片加工工作台,不仅能够对硅片进行有效的倒角作业,而且能够对倒角产生的粉尘进行有效的吸附。
基本信息
专利标题 :
一种超薄硅片加工工作台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021986496.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-11
授权号 :
CN213196857U
授权日 :
2021-05-14
发明人 :
程进
申请人 :
苏州芯海半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张家港市凤凰镇凤凰科技创业园B幢2层
代理机构 :
成都明涛智创专利代理有限公司
代理人 :
杜梦
优先权 :
CN202021986496.1
主分类号 :
B24B9/06
IPC分类号 :
B24B9/06 B24B41/06 B24B55/06 B24B47/12 B24B47/22
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B9/00
适用于磨削工件边缘或斜面或去毛刺的机床或装置;其附件
B24B9/02
以被磨制品材料性质为特征专门设计的
B24B9/06
非金属无机材料的,如石头,陶瓷制品,瓷器
法律状态
2021-05-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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