一种硅片加工用脱胶花篮

授权

摘要

本实用新型涉及硅片加工清洗技术领域，且公开了一种硅片加工用脱胶花篮，包括清洗盒，所述清洗盒的外壁开设有进水孔，所述清洗盒的内壁固定连接有支撑板，所述支撑板的底部固定连接有限位块，所述限位块的内壁活动连接有收集网，所述支撑板的顶部固定连接有第一防滑垫。该硅片加工用脱胶花篮，达到了使用效果好的目的，使得人们在使用该硅片加工用脱胶花篮对硅片就行脱胶时更加方便，避免了许多不必要的麻烦，省去了大量的时间，提高了人们的工作效率，同时也使得硅片在清洗过后可以正常工作，同时也达到了便于安装的目的，使得人们在安装或者清洗该硅片加工用脱胶花篮时更加方便，省时实力，使用更加得心应手。

基本信息

专利标题：

一种硅片加工用脱胶花篮

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020712071.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-30

授权号：

CN211578707U

授权日：

2020-09-25

发明人：

伊观兰

申请人：

天津西美半导体材料有限公司

申请人地址：

天津市滨海新区华苑产业园海泰发展六道6号海泰绿色产业基地G座401室-04-24

代理机构：

北京化育知识产权代理有限公司

代理人：

尹均利

优先权：

CN202020712071.5

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67