具有外延源区和漏区的金属栅晶体管
专利权的终止
摘要

本发明公开一种具有外延源区和漏区的金属栅晶体管。描述了形成于重掺杂的衬底上的MOS晶体管。在低温处理中使用金属栅以防止衬底的掺杂扩散到晶体管的沟道区。

基本信息
专利标题 :
具有外延源区和漏区的金属栅晶体管
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN103560150A
申请号 :
CN201310419494.2
公开(公告)日 :
2014-02-05
申请日 :
2005-09-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
N·林德特J·布拉斯克A·韦斯特梅耶
申请人 :
英特尔公司
申请人地址 :
美国加利福尼亚州
代理机构 :
上海专利商标事务所有限公司
代理人 :
姬利永
优先权 :
CN201310419494.2
主分类号 :
H01L29/78
IPC分类号 :
H01L29/78  H01L29/49  
法律状态
2020-09-18 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 29/78
申请日 : 20050929
授权公告日 : 20170111
终止日期 : 20190929
2017-01-11 :
授权
2014-03-12 :
实质审查的生效
号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101576330041
IPC(主分类) : H01L 29/78
专利申请号 : 2013104194942
申请日 : 20050929
2014-02-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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