用于检查半导体晶片的X光检查设备
授权
摘要
一种x光检查系统，包括：x光源(100)；用于支撑将被检查的样品的样品支撑件(200)，其中所述样品支撑件(200)包括在水平面中延伸的支撑表面；x光检测器(300)；和样品支撑件定位组件(210)，用于相对于所述x光源(100)或者x光检测器(300)定位所述样品支撑件(200)。其中所述样品定位组件(210)包括用于使所述样品支撑件(200)在与所述水平面正交的竖直方向中移动的竖直定位机构(214、216)，以及用于使所述样品支撑件(200)和所述竖直定位机构(214、216)在第一水平方向中移动的第一水平定位机构(216、218)。这种布置允许所述样品精确地移动至所述水平面内的不同成像位置，以及使用低功率竖直定位机构。
基本信息
专利标题 ：
用于检查半导体晶片的X光检查设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN106170226A
申请号 ：
CN201580018571.0
公开（公告）日 ：
2016-11-30
申请日 ：
2015-04-02
授权号 ：
CN106170226B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
威廉·T·瓦尔克菲丽·金
申请人 ：
诺信公司
申请人地址 ：
美国俄亥俄州
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
沈同全
优先权 ：
CN201580018571.0
主分类号 ：
A47B9/12
IPC分类号 ：
A47B9/12
IPC结构图谱
A
A部——人类生活必需
A47
家具；家庭用的物品或设备；咖啡磨；香料磨；一般吸尘器
A47B
桌子；写字台；办公家具；柜橱；抽屉；家具的一般零件
A47B9/00
可变换桌面高度的桌子
A47B9/12
有灵活调节高度装置的，例如绳索，链条
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2016-12-28 ：
实质审查的生效
号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101693563581
IPC(主分类) : A47B 9/12
专利申请号 : 2015800185710
申请日 : 20150402
号牌文件序号 : 101693563581
IPC(主分类) : A47B 9/12
专利申请号 : 2015800185710
申请日 : 20150402
2016-11-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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