探针位置检查装置、半导体评价装置以及探针位置检查方法

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摘要

目的在于，提供能够容易地且高精度地对半导体评价装置所具有的探针的位置进行检查的探针位置检查装置、具有该探针位置检查装置的半导体评价装置、以及使用了该半导体评价装置的探针位置检查方法。本发明所涉及的探针位置检查装置对半导体评价装置所具有的探针的位置进行检查，该探针具有相应于与被评价半导体装置的接触位置而形成磁场的检查用磁场形成单元，探针位置检查装置具有：基体部，其包含表面和多个磁传感器，该探针能够与该表面接触，该多个磁传感器设置于与该表面平行的面内，对由探针所具有的检查用磁场形成单元形成的磁场进行检测；以及输出部，其与上述磁传感器电连接，输出基于磁场的磁传感器的信号。

基本信息

专利标题：

探针位置检查装置、半导体评价装置以及探针位置检查方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN107305236A

申请号：

CN201710258349.9

公开（公告）日：

2017-10-31

申请日：

2017-04-19

授权号：

CN107305236B

授权日：

2022-05-27

发明人：

冈田章野口贵也竹迫宪浩

申请人：

三菱电机株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司

代理人：

何立波

优先权：

CN201710258349.9

主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R31/28 G01R1/073 G01R1/067