本发明提供检查装置和探针的研磨方法。检查装置用于对检查对象基片进行检查，包括：检查用载置台；输送机构；载置研磨用基片的研磨用载置台，研磨用基片用于对在检查时与基片接触的探针进行研磨、且具有可由输送机构输送的形状和大小；使检查用载置台移动以相对于探针进退的第1进退机构；和使研磨用载置台移动以相对于探针进退的第2进退机构，研磨用载置台是在检查用载置台以外另外设置的，检查用载置台的退避区域与研磨用载置台的退避区域在俯视时位于将探针夹在中间的相反侧的位置，第2进退机构构成为：使得研磨用基片中的与该研磨用基片的退避区域侧相反的一侧在俯视时能够与探针重叠，而该研磨用基片的退避区域侧在俯视时不能与探针重叠。