感应式超导边缘探测器及其制备方法
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摘要
本发明涉及一种感应式超导边缘探测器及其制作方法，所述感应式超导边缘探测器包括：包括：衬底、吸收层、介质层、绝缘层、超导薄膜层和约瑟夫森桥结；所述吸收层设置在所述衬底的一个表面；所述介质层设置在所述吸收层远离与所述衬底的表面，所述介质层具有增透性；所述绝缘层覆盖所述吸收层和介质层设置；所述超导薄膜层设置在所述绝缘层远离所述衬底的表面，并以连续闭合结构环绕所述吸收层和介质层设置；所述约瑟夫森桥结设置在所述超导薄膜层上。此感应式超导边缘探测器包含有一层具有对光子具有增透作用的介质层，提高了感应式超导边缘探测器对单光子的吸收效率。
基本信息
专利标题 ：
感应式超导边缘探测器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109285941A
申请号 ：
CN201710602494.4
公开（公告）日 ：
2019-01-29
申请日 ：
2017-07-21
授权号 ：
CN109285941B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
钟青王雪深李劲劲曹文会钟源王兰若
申请人 ：
中国计量科学研究院
申请人地址 ：
北京市朝阳区北三环东路18号
代理机构 ：
北京华进京联知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘诚
优先权 ：
CN201710602494.4
主分类号 ：
H01L39/02
IPC分类号 ：
H01L39/02 H01L39/22 H01L39/24
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2019-03-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 39/02
申请日 : 20170721
申请日 : 20170721
2019-01-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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