结构化超导带单光子探测器
公开
摘要
本发明公开了结构化超导带单光子探测器；本发明通过结构调控增加超导带对光子响应灵敏度，降低了常规超导单光子探测器对超导带宽度的要求，从而可实现高灵敏单光子探测，并具有探测面积大、速度快、制备简单，易于扩展到大规模阵列结构等特点。该单光子探测器自下到上依次包括衬底、几何调控超导带、电极、光学介质层和光学反射镜；制备方法主要包括：采用磁控溅射在衬底表面上沉积一层超导薄膜；采用光刻和剥离技术在超导薄膜上制备电极；利用电子束曝光技术和反应离子刻蚀技术在超导薄膜上制备具有结构化超导带形状；利用化学气相沉积技术和电子束蒸发技术在超导带的表面上分别沉积一层光学介质层和金属反射层作为光学腔。
基本信息
专利标题 ：
结构化超导带单光子探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114597306A
申请号 ：
CN202210227149.8
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张蜡宝李飞燕
申请人 ：
南京大学
申请人地址 ：
江苏省南京市鼓楼区汉口路22号
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
颜盈静
优先权 ：
CN202210227149.8
主分类号 ：
H01L39/08
IPC分类号 ：
H01L39/08 H01L39/02 H01L31/0232 H01L31/0352 H01L31/09 G01J1/42
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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