具有中红外高光吸收特性的超导纳米线单光子探测器
实质审查的生效
摘要
本发明公开的具有中红外高光吸收特性的超导纳米线单光子探测器，包括自上而下依次设置的纳米线层、二氧化硅腔、分布式布拉格反射镜以及衬底，纳米线层采用单层NbN纳米线或双层NbN纳米线。然后以3‑5μm波长范围内光吸收率的最小值作为目标函数，通过粒子群算法/PSO来寻求初始结构中二氧化硅腔、DBR的高折射率薄膜和低折射率薄膜这三者厚度的最优解，实现了具有3‑5μm宽带高光吸收率以及较好带内平坦度特性的SNSPD设计。当入射光垂直入射时，在3‑5μm目标波长范围内，优化后的单层NbN纳米线结构的光吸收率最小值为0.526，最大值为0.779，带内平坦度可以低至0.253；双层NbN纳米线结构的最小值和最大值则分别达到了0.748和0.974，带内平坦度可以低至0.226。
基本信息
专利标题 ：
具有中红外高光吸收特性的超导纳米线单光子探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114530509A
申请号 ：
CN202210080291.4
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2022-01-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵雨辰田浩刘江凡宋忠国席晓莉
申请人 ：
西安理工大学
申请人地址 ：
陕西省西安市碑林区金花南路5号
代理机构 ：
西安弘理专利事务所
代理人 ：
许志蛟
优先权 ：
CN202210080291.4
主分类号 ：
H01L31/0232
IPC分类号 ：
H01L31/0232 H01L31/0352
法律状态
2022-06-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0232
申请日 : 20220124
申请日 : 20220124
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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