MEMS致动系统和方法
授权
摘要
微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂，以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆。
基本信息
专利标题 ：
MEMS致动系统和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110582828A
申请号 ：
CN201780068608.X
公开（公告）日 ：
2019-12-17
申请日 ：
2017-09-08
授权号 ：
CN110582828B
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
刘晓蕾M·伍王桂芹G·莫拉比托
申请人 ：
麦斯卓有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京高文律师事务所
代理人 ：
王冬
优先权 ：
CN201780068608.X
主分类号 ：
H01H51/22
IPC分类号 ：
H01H51/22
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01H
电开关；继电器；选择器；紧急保护装置
H01H51/00
电磁继电器
H01H51/22
极化继电器
法律状态
2022-05-06 ：
授权
2020-01-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01H 51/22
申请日 : 20170908
申请日 : 20170908
2019-12-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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