氧化物烧结材料、制造氧化物烧结材料的方法、溅射靶和制造半...
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摘要
本发明提供一种氧化物烧结材料、制造所述氧化物烧结材料的方法以及制造包含使用所述氧化物烧结材料形成的氧化物半导体膜14的半导体器件10的方法,所述氧化物烧结材料含有In、W和Zn并且包含:第一晶相,所述第一晶相包含方铁锰矿型晶相;和第二晶相,所述第二晶相在X射线衍射中在2θ大于34.74°且小于34.97°的位置处具有第一衍射峰,其中所述氧化物烧结材料具有大于6.4g/cm3且小于等于7.5g/cm3的表观密度,相对于In、W和Zn的总量的W的含量为大于0.01原子%且小于等于5.0原子%,Zn的含量为大于等于1.2原子%且小于50原子%,并且Zn对W的原子比为大于1.0且小于20000。
基本信息
专利标题 :
氧化物烧结材料、制造氧化物烧结材料的方法、溅射靶和制造半导体器件的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110312691A
申请号 :
CN201780086594.4
公开(公告)日 :
2019-10-08
申请日 :
2017-09-28
授权号 :
CN110312691B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
宫永美纪绵谷研一粟田英章
申请人 :
住友电气工业株式会社
申请人地址 :
日本大阪府大阪市
代理机构 :
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 :
王海川
优先权 :
CN201780086594.4
主分类号 :
C04B35/01
IPC分类号 :
C04B35/01 C04B35/453 C23C14/08 C23C14/34 H01L21/363 H01L29/786
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IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C04
水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料
C04B
石灰;氧化镁;矿渣;水泥;其组合物,例如:砂浆、混凝土或类似的建筑材料;人造石;陶瓷;耐火材料;天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品;陶瓷组合物;准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/01
以氧化物为基料的
法律状态
2022-04-01 :
授权
2019-11-01 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C04B 35/01
申请日 : 20170928
申请日 : 20170928
2019-10-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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