用于确定层厚度的共焦显微镜和显微镜方法
授权
摘要

涉及用于确定层厚度的共焦显微镜和显微镜方法。共焦显微镜包括:光学部件,用于将照明光引导和聚焦到样本上;焦点调整设备,沿共焦显微镜的光轴调整照明光的焦点位置和样本位置之间的相对位移;光测量设备,对来自样本的照明光进行共焦测量,利用其记录属于焦点调整设备的不同设置的测量信号;评估设备,确定样本的层厚度,为此被配置为:确定在由光测量设备记录的测量图中的至少两个强度带的强度带位置,测量图表示根据焦点位置的测量的光强度;并根据强度带位置之间的位置差确定层厚度。评估设备被配置为:考虑到层处的照明光的干涉,使用数学模型确定层厚度,该数学模型针对重叠强度带描述强度带位置对于至少一个光波长和层厚度的依赖性。

基本信息
专利标题 :
用于确定层厚度的共焦显微镜和显微镜方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109297414A
申请号 :
CN201810811339.8
公开(公告)日 :
2019-02-01
申请日 :
2018-07-23
授权号 :
CN109297414B
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
马蒂亚斯·沃佩尔尼尔斯·兰霍尔茨
申请人 :
卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请人地址 :
德国耶拿
代理机构 :
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 :
鲁山
优先权 :
CN201810811339.8
主分类号 :
G01B11/02
IPC分类号 :
G01B11/02  G01B11/06  G01B11/24  G01B9/04  G01N21/64  G01N21/25  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-06-07 :
授权
2020-07-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/02
申请日 : 20180723
2019-02-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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