确定显微镜的束路径中的样品保持件的厚度的方法
授权
摘要
本发明涉及一种在显微镜(1)的束路径中确定样品保持件(7)的厚度(d)的方法，所述样品保持件对于照明辐射(BS)是透明的并且实施为接收样品(5)。具有第一侧面(OS)和第二侧面(US)的样品保持件布置在样品平面(4)中，并且第一侧面和第二侧面平行于样品平面(4)对准。以第一照明角将照明辐射中的至少一个束沿着第一光轴(A1)指引到对准的样品保持件上，并且捕获照明辐射中的反射分量(BSref)中的至少两个测量值或者由照明辐射引起的检测辐射(DS)中的至少两个测量值。取决于至少两个捕获的测量值，将第一和第二侧面彼此之间在Z轴(Z)的方向上的间隔确立为厚度(d)。本发明还涉及捕获图像数据的方法。
基本信息
专利标题 ：
确定显微镜的束路径中的样品保持件的厚度的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110018559A
申请号 ：
CN201811577362.1
公开（公告）日 ：
2019-07-16
申请日 ：
2018-12-18
授权号 ：
CN110018559B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
T.卡尔克布伦纳J.西本摩根
申请人 ：
卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请人地址 ：
德国耶拿
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
王蕊瑞
优先权 ：
CN201811577362.1
主分类号 ：
G02B21/24
IPC分类号 ：
G02B21/24 G02B21/06 G02B21/00 G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B21/00
显微镜
G02B21/24
底座结构
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2020-11-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 21/24
申请日 : 20181218
申请日 : 20181218
2019-07-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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