研磨液浓度调整方法

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摘要

提供研磨液浓度调整方法，将研磨液调整为适当的浓度而不浪费研磨液。该研磨液浓度调整方法具有如下的工序：提供工序(S1)，对容器提供纯水和浓缩研磨液；搅拌工序(S2)，使螺旋桨旋转而对容器内的纯水和浓缩研磨液进行搅拌；判断工序(S3)，判断在搅拌工序(S2)中检测到的螺旋桨的转速大于还是小于预先设定的转速n；第1调整工序(S4)，当检测到的转速小于预先设定的转速N(n＜N)时，对容器提供纯水而使螺旋桨的转速n成为预先设定的转速N；以及第2调整工序(S5)，当检测到的转速大于预先设定的转速N(n＞N)时，对容器提供浓缩研磨液而使螺旋桨的转速n成为预先设定的转速N。

基本信息

专利标题：

研磨液浓度调整方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN109420450A

申请号：

CN201810989403.1

公开（公告）日：

2019-03-05

申请日：

2018-08-28

授权号：

CN109420450B

授权日：

2022-06-03

发明人：

山中聪川越大辅

申请人：

株式会社迪思科

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

于靖帅

优先权：

CN201810989403.1

主分类号：

B01F7/18

IPC分类号：

B01F7/18 B01F15/00