研磨系统及研磨方法
实质审查的生效
摘要
本发明的一实施例提供一种研磨系统，包括：研磨单元，所述研磨单元具备研磨轮部、使所述研磨轮部相对于旋转轴旋转的旋转单元；以及驱动单元，所述驱动单元控制所述研磨单元的线性运动，以使在研磨对象体与所述研磨单元接触的面中相互接触的力沿研磨行进方向保持均匀。
基本信息
专利标题 ：
研磨系统及研磨方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114269515A
申请号 ：
CN202080059606.6
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-03-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李起宪朴池勳韩政烈柳成坤
申请人 ：
韩商未来股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道华城市
代理机构 ：
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王达佐
优先权 ：
CN202080059606.6
主分类号 ：
B24B7/22
IPC分类号 ：
B24B7/22 B24B49/16 B23Q17/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B7/00
适用于磨削工件平面的机床或装置，包括抛光平面玻璃表面；及其附件
B24B7/20
以被磨非金属制品的材料性质为特征专门设计的
B24B7/22
用于磨削无机材料，如石头，陶瓷，瓷器
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 7/22
申请日 : 20200330
申请日 : 20200330
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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