半导体设备的调度方法、调度装置及系统

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摘要

本发明提供一种半导体设备的调度方法、调度装置及系统，属于半导体设备技术领域，其可至少部分解决现有的半导体设备中晶圆的传输动作序列计算失败的问题。本发明的调度方法包括:当前一任务中最后一片晶圆被传输至第一个所述功能模块时，获取前一任务涉及的各所述功能模块中晶圆的分布状态；判断各所述功能模块中晶圆的分布状态是否符合辅助检测条件参数表，其中所述辅助检测条件参数表中规定前一任务进行稳定传输所涉及的各所述功能模块中晶圆的分布状态；如果前一任务涉及的功能模块中晶圆的分布状态与所述辅助检测条件参数表一致，则启动后一任务的第一片晶圆的传输动作序列的计算。

基本信息

专利标题：

半导体设备的调度方法、调度装置及系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111081590A

申请号：

CN201811223430.4

公开（公告）日：

2020-04-28

申请日：

2018-10-19

授权号：

CN111081590B

授权日：

2022-04-22

发明人：

雷花纪红

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司

代理人：

柴亮

优先权：

CN201811223430.4

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67