ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法

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摘要

一种ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法，包括泵浦连续激光器、探测连续激光器、分束镜、功率计、万用表及计算机，通过在线实时测量ITO透明导电膜的透过率和电阻率的变化来判定ITO透明导电膜在连续激光辐照下的功能性激光损伤阈值。本发明可有效评价ITO透明导电膜的功能性激光损伤阈值，为ITO透明导电膜在连续激光辐照下的应用提供依据。该方法最重要的是在测量之前先对ITO透明导电膜进行带状结构的刻蚀处理，以便于激光辐照处ITO透明导电膜电阻率的准确测量。

基本信息

专利标题：

ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法

专利标题（英）：

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公开（公告）号：

CN109540839A

申请号：

CN201811484743.5

公开（公告）日：

2019-03-29

申请日：

2018-12-06

授权号：

CN109540839B

授权日：

2022-04-01

发明人：

赵元安彭丽萍刘晓凤李大伟邵建达王玺彭小聪李成马浩

申请人：

中国科学院上海光学精密机械研究所

申请人地址：

上海市嘉定区清河路390号

代理机构：

上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

张宁展

优先权：

CN201811484743.5

主分类号：

G01N21/39

IPC分类号：

G01N21/39