一种波长分离薄膜缺陷激光损伤阈值的测试方法及系统
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摘要

本发明公开了一种波长分离薄膜缺陷激光损伤阈值的测试方法及系统,该方法以不同波长激光辐照波长分离薄膜的不同损伤机理及损伤形貌作为依据,将缺陷损伤点对应的致损波长激光进行判定,并将缺陷损伤的时间以及二维空间中位于高斯光斑内的坐标进行判断进行能量密度细化分析,结合缺陷损伤点的深度以及两波长激光各自对应的电场,完成对缺陷损伤点在时间与三维空间的能量密度进行细分,有效地解决了国际标准测试法中,无法判定缺陷损伤对应波长激光能量,将高斯光斑内不均匀分布的激光能量密度以及缺陷损伤点等效的看作为均匀分布,并将峰值能量密度作为缺陷损伤能量密度,忽略缺陷损伤的时间以及纵向电场影响所带来的问题,提高了测试精度。

基本信息
专利标题 :
一种波长分离薄膜缺陷激光损伤阈值的测试方法及系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110618143A
申请号 :
CN201911024331.8
公开(公告)日 :
2019-12-27
申请日 :
2019-10-25
授权号 :
CN110618143B
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
单翀赵晓晖高妍琦赵元安崔勇饶大幸胡国行刘晓凤马伟新
申请人 :
中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请人地址 :
上海市嘉定区陈家山路1129号
代理机构 :
上海智力专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
周涛
优先权 :
CN201911024331.8
主分类号 :
G01N21/958
IPC分类号 :
G01N21/958  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
G01N21/958
检测透明材料
法律状态
2022-05-31 :
授权
2020-01-21 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/958
申请日 : 20191025
2019-12-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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