一种高激光损伤阈值金刚石镜片及其制备方法
授权
摘要
本申请涉及激光光学领域，公开了一种高激光损伤阈值金刚石镜片及其制备方法，高激光损伤阈值金刚石镜片的制备方法包括以下步骤：在单晶金刚石衬底上沉积一层单晶金刚石薄膜；利用有限元方法设计微柱状结构阵列；在所述单晶金刚石薄膜上镀制一层金属膜；将所述微柱状结构阵列的顶面轮廓图案光刻到所述金属膜上，显影；对所述金属膜表面进行垂直刻蚀；对所述单晶金刚石衬底进行倾斜旋转刻蚀；去除所述微柱状结构上的金属膜。采用本申请制备方法制备得到的高激光损伤阈值金刚石镜片为全金刚石镜片，具有较高的激光损伤阈值，且制备方法简单。
基本信息
专利标题 ：
一种高激光损伤阈值金刚石镜片及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114236658A
申请号 ：
CN202210170247.2
公开（公告）日 ：
2022-03-25
申请日 ：
2022-02-24
授权号 ：
CN114236658B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
郭可升胡强卫红胡琅肖永能侯少毅杨振怀刘乔
申请人 ：
季华实验室
申请人地址 ：
广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号
代理机构 ：
佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈志超
优先权 ：
CN202210170247.2
主分类号 ：
G02B5/08
IPC分类号 ：
G02B5/08 G03F1/80 G03F1/78 G03F7/30 C23C14/18 C23C14/35 C23C14/58 C23C16/27 C23C28/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/08
反射镜
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2022-04-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 5/08
申请日 : 20220224
申请日 : 20220224
2022-03-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN114236658A.PDF
PDF下载
