一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置与方法
实质审查的生效
摘要

本发明提出的一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置与方法,通过设置λ/2波片和偏振分光棱镜组成作用激光的衰减调节单元,λ/2波片和偏振分光棱镜组成激光偏振分光单元,可实现在相同测试条件下,测试s线偏振光和p线偏振光对同一元器件的损伤阈值;通过在第二偏振分光棱镜的反射光路和透射光路中设置切入和切出的λ/4波片,可实现在相同测试条件下,测试圆偏振光和椭圆偏振光对同一元器件的损伤阈值,还可测试圆偏振光和椭圆偏振光对同一元器件的损伤阈值,或者测试线偏振光和任意偏振光对同一元器件的损伤阈值;本装置为了提高散射探测灵敏度,采用线偏振光散射探测法测试样品损伤情况,同时可以测试线偏正光散射后偏振特性是否发生变化。

基本信息
专利标题 :
一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置与方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114486813A
申请号 :
CN202111660364.9
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
白芳麻云凤程旺曹灿殷晨轩周家玮杨学博郭广妍赵鹏
申请人 :
中国科学院空天信息创新研究院
申请人地址 :
北京市海淀区北四环西路19号
代理机构 :
北京理工大学专利中心
代理人 :
李微微
优先权 :
CN202111660364.9
主分类号 :
G01N21/49
IPC分类号 :
G01N21/49  G01N21/21  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/47
散射,即漫反射
G01N21/49
固体或流体中的散射
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/49
申请日 : 20211231
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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