一种用于对透明工件进行激光加工的方法，该方法包括将由脉冲激光束源输出的脉冲激光束聚焦成脉冲激光束焦线，该脉冲激光束焦线被引导到透明工件中，从而在透明工件上形成脉冲激光束斑，并在透明工件中产生缺陷；将红外激光束输出引导到透明工件上，以形成环形红外束斑，该环形红外束斑在成像表面处包围脉冲激光束斑，并加热透明工件。此外，该方法包括沿着分离路径使透明工件和脉冲激光束焦线相对于彼此平移，以及与透明工件和脉冲激光束焦线相对于彼此的平移同步地沿着分离路径使透明工件和环形红外束斑相对于彼此平移。