氧化硅膜用研磨液组合物
授权
摘要
本发明的氧化硅膜用研磨液组合物含有氧化铈粒子、水溶性高分子化合物及水系介质，上述水溶性高分子化合物是包含甜菜碱结构的水溶性高分子化合物(其中，羧基甜菜碱均聚物、磺基甜菜碱均聚物除外)。上述水溶性高分子化合物优选为含有结构单元A和结构单元B的水溶性高分子化合物，所述结构单元A包含甜菜碱结构，所述结构单元B是上述结构单元A以外的结构单元，且含有伯氨基、仲氨基、叔氨基、季铵基及它们的盐中的至少1种基团。
基本信息
专利标题 ：
氧化硅膜用研磨液组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111511870A
申请号 ：
CN201880083779.4
公开（公告）日 ：
2020-08-07
申请日 ：
2018-12-21
授权号 ：
CN111511870B
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
内田洋平
申请人 ：
花王株式会社
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
王永红
优先权 ：
CN201880083779.4
主分类号 ：
C09K3/14
IPC分类号 ：
C09K3/14 H01L21/3105 B24B37/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K3/00
不包含在其他类目中的材料
C09K3/14
防滑材料；研磨材料
法律状态
2022-05-06 ：
授权
2020-12-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09K 3/14
申请日 : 20181221
申请日 : 20181221
2020-08-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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