光测距装置以及加工装置
授权
摘要
将光测距装置(3)构成为：设置有具有接收从光干涉部(31)输出的干涉光并输出干涉光的检测信号的PD(32－1)～(32－N)的光检测器(32)、以及从自PD(32－1)～(32－N)输出的检测信号之中选择任意一个检测信号的开关(33)，距离计算部(35)根据由开关(33)选择出的检测信号，计算直至测定对象物(1)为止的距离。
基本信息
专利标题 ：
光测距装置以及加工装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112262292A
申请号 ：
CN201880094509.3
公开（公告）日 ：
2021-01-22
申请日 ：
2018-06-19
授权号 ：
CN112262292B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
后藤广树松本佳宏斧原圣史铃木巨生柳泽隆行
申请人 ：
三菱电机株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人 ：
孙蕾
优先权 ：
CN201880094509.3
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2021-02-09 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 9/02
申请日 : 20180619
申请日 : 20180619
2021-01-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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