电子部件处理装置及电子部件测试装置
授权
摘要
本发明提供即使为在测试中产生急剧的温度变化的类型的DUT也能够将DUT的温度控制在适当的范围内的电子部件处理装置。电子部件处理装置(50)包括：调整DUT(90)的温度的温度调整装置(70)；基于温度检测电路(92)的检测结果来运算DUT(90)的温度的第一运算部(86)；控制温度调整装置(70)的温度控制部(87)；以及向温度控制部(87)输出第一信号(S1)的第一控制部(88)，温度控制部(87)执行的温度控制包括：基于由第一运算部(86)运算出的DUT(90)的温度的第一温度控制；和与第一温度控制不同的第二温度控制，在开始第一温度控制之后，在从第一控制部(88)输入了第一信号(S1)的情况下，温度控制部(87)将DUT(90)的温度控制从第一温度控制切换为所述第二温度控制。
基本信息
专利标题 ：
电子部件处理装置及电子部件测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110794277A
申请号 ：
CN201910665959.X
公开（公告）日 ：
2020-02-14
申请日 ：
2019-07-23
授权号 ：
CN110794277B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
佐佐木博孝市川英树
申请人 ：
株式会社爱德万测试
申请人地址 ：
日本国东京都千代田区丸之内1丁目6番2号
代理机构 ：
北京汇思诚业知识产权代理有限公司
代理人 ：
龚敏
优先权 ：
CN201910665959.X
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2020-03-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/26
申请日 : 20190723
申请日 : 20190723
2020-02-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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