一种适合TIC3X三离子束切割仪的样品台
授权
摘要
本发明提供一种适合TIC3X三离子束切割仪的样品台，包括：通过旋转旋钮实现水平移动的水平位移装置；安放于所述水平位移装置上的平移平台；通过紧固螺丝固定在所述平移平台上的待加工试样安放台；通过双面导电胶固定在所述待加工样品安放台上的样品。本发明可以对超大样品直接进行加工。
基本信息
专利标题 ：
一种适合TIC3X三离子束切割仪的样品台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112397365A
申请号 ：
CN201910748487.4
公开（公告）日 ：
2021-02-23
申请日 ：
2019-08-14
授权号 ：
CN112397365B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
林初城曾毅郑维张积梅刘紫微宋雪梅姜彩芬
申请人 ：
中国科学院上海硅酸盐研究所
申请人地址 ：
上海市长宁区定西路1295号
代理机构 ：
上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹芳玲
优先权 ：
CN201910748487.4
主分类号 ：
H01J37/20
IPC分类号 ：
H01J37/20 H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2021-03-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/20
申请日 : 20190814
申请日 : 20190814
2021-02-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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