一种聚焦离子束双束电子显微镜系统及其样品台
授权
摘要
本实用新型提供一种聚焦离子束双束电子显微镜系统及其样品台，样品台包括样品台本体，用于承载样品；支撑柱，设置在所述样品台本体的底部，用于支撑所述样品台本体；其中，样品台本体包括具有第一部分和第二部分，第一部分形成具有顶部水平面的平台结构，第二部分由所述平台结构的第一端延伸形成，并且包括自所述顶部水平面向下延伸形成的斜面结构。斜面结构与水平面的夹角介于0～90°。可以根据实际需要设定该夹角的大小。通过设定该夹角的大小，当样品放置在该斜面结构上时，自然地呈倾斜状，该倾斜能够抵消采用FIB方法对样品进行加工时由于样品不同层的材料不同造成的切割条纹倾斜问题，得到理想的条纹图案。
基本信息
专利标题 ：
一种聚焦离子束双束电子显微镜系统及其样品台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920988838.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-28
授权号 ：
CN210167321U
授权日 ：
2020-03-20
发明人 ：
杜冰
申请人 ：
芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市黄岛区中德生态园团结路2877号ICIC办公楼4楼
代理机构 ：
北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈敏
优先权 ：
CN201920988838.4
主分类号 ：
H01J37/20
IPC分类号 ：
H01J37/20 H01J37/26
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2020-03-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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